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法国ALCATEL整合轻型干泵
编号:A012
品牌:阿尔卡特高真空技术   [查询该品牌全部商品]
单位:个
重量:78000 克
干泵整合概念的参考
自1999年A100L发布的日期以来,在半导体工业中,干泵一体化的概念已经成为一个标准。今天,在世界范围内,A100L被安装在300mm数量级的半导体器件上,为关键的行业提供公认的利益。
特点:
• 直接集成到硅片加工设备:
消除foreline &显著减少设施和连接费用
• 使用时100m3/h 的抽水速度:
可以取代多达500m3/h 的精细水泵以增加吞吐量
• 安静和清洁:
专为无尘操作设计
• 能源效率:
降低晶圆厂能源消耗
• 可靠:
adixen实地证明的复合罗茨技术
世界范围内最大的安装基地
商品售价:¥0.00
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详细资料

干泵整合概念的参考

   1999A100L发布的日期以来,在半导体工业中,干泵一体化的概念已经成为一个标准。今天,在世界范围内,A100L被安装在300mm数量级的半导体器件上,为关键的行业提供公认的利益。

特点:

·         直接集成到硅片加工设备
消除foreline &显著减少设施和连接费用

·         使用时100m3/h 的抽水速度:
可以取代多达500m3/h 的精细水泵以增加吞吐量

·         安静和清洁:
专为无尘操作设计

·         能源效率:
降低晶圆厂能源消耗

·         可靠:
adixen实地证明的复合罗茨技术
世界范围内最大的安装基地 

应用:

·         负载锁

·         转换腔

·         物理气相沉积

·         扫描电镜

·         预清洗腔

·         退火腔

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