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    万机仪器(上海)有限公司是美国万机仪器有限公司 (MKS Instruments, Inc.) 在中国的全资子公司。位于上海金桥出口加工区的销售和技术服务中心,为迅速发展的中国半导体、太阳能电池、LED和真空工业提供一流的产品和技术服务。公司在上海外高桥保税区还设有保税仓库。

    MKS 是全球最著名的先进生产工艺控制设备供应商之一,其产品广泛地应用于各种半导体器件、平板显示器、太阳能电池、LED、光学储存介质、玻璃镀膜、光电产品等生产设备及制药和医学成像设备。MKS前瞻性的创新开发,推动其产品一直处于全球技术领先地位。MKS的电源、测量、控制和复杂气体相关的工艺监控技术,改善了设备完好率和产品成品率,提高了产量和产品性能。MKS产品起源于我们的压力和流量测量与控制核心技术,延伸到材料递送、气体成份分析、工艺控制、信息管理、电源和反应气体发生器及真空技术。

    MKS 成立于1961年,总部位于美国东部波士顿以北的Andover。近三千名员工工作在全球各地十五个分公司、七个研究中心、十个生产基地(其中中国深圳的ENI电源工厂拥有近500员工)及140多个销售办事处和30多个技术服务中心。公司在纳斯达克上市,股票代码:MKSI。

    MKS 拥有完整的技术及产品资源,无论是产品的研发设计、生产管理还是客户支持服务,都能快速满足客户的各种特殊需求。MKS主要提供有:气体压力及流量测量与控制、射频/直流/微波电源发生器及测量工具、氟原子/臭氧反应气体发生器、真空产品、气体分析仪及信息和控制技术等产品。

苏州美欧机电有限公司,专业销售美国MKS不锈钢真空管道和连接件.包括:
等离子体电源及反应气体发生器 Power & Reactive Gas
反应气体发生器
ASTRON®系列远程等离子体源
基于NF3等含氟气体电离,产生活性气体,广泛地应用于CVD等工艺腔清洗,它具有功率大,效率高等特点。产品有:

• ASTRON®i AX7670 (3升)
• ASTRON®ex AX7685 (6升)
• ASTRON®hf-s AX7645 (15升,分体式)
• ASTRON®hf AX7640 (15升)
• ASTRON®hf+ AX7635 (22升)
• ASTRON®hf++ AX7667 (30升)


等离子体电源用于晶圆工艺

ASTeX®远程等离子体源 适用于O2、N2、H2、H2O等气体,广泛应用于CVD,ETCH,去胶等晶圆工艺。
• R*evolution® AX7690 集成远程等离子体源用于晶圆工艺
• 微波等离子体源
• AX2600 集成等离子体系统
• SmartPower® AX2500系列微波电源
• AX3060 SmartMatch 微波匹配器
• AX7610 下游等离子体源


臭氧发生器

SEMOZON® 臭氧发生器及集成系统
• SEMOZON® AX8407/AX8407C高浓度、高流量臭氧发生器/紧凑型臭氧发生器
• O3MEGA® AX8561集成电子流量、压力控制的臭氧发生器系统
• SEMOZON® AX8550 二通道臭氧发生器集成系统
• SEMOZON® AX8555 四通道臭氧发生器集成系统
• SEMOZON® AX8575 多通道臭氧发生器集成系统,可集成冷却水交换器。


LIQUOZON®臭氧水循环系统广泛应用于CVD,去胶和湿法清洗等工艺。

• LIQUOZON® Smart 臭氧水递送系统。提供高浓度、大流量臭氧水
• LIQUOZON® Single 臭氧水递送系统。紧凑型设计,适合于单片硅片清洗系统
• LIQUOZON® LoopO3 臭氧水循环递送系统。紧凑型设计,带循环水泵,主要用于硅片清洗工艺
• LIQUOZON® PrimO3 臭氧水循环递送系统。高浓度、大流量,带循环水泵,主要用于硅片清洗工艺
• LIQUOZON® Ultra 臭氧水循环递送系统。主要用于生物、制药行业消毒


射频功率电源

ENI® 提供高可靠的固态电源,其频率从2MHz到60MHz,功率从3百瓦至13千瓦,还可选自动频率调谐,广泛地应用于Etch,CVD和PVD等工艺。
• 中频射频功率电源(2MHz)
• NOVA®系列,功率为2.5和5千瓦,自动频率调谐可选。
• Spectrum®系列,功率为5和11千瓦,自动频率调谐可选。

 高频射频功率电源(13.56MHz)
• elite™系列风冷电源,功率为300、600和750瓦。
• GHW系列电源,功率为1.25、2.5和5千瓦,自动频率调谐可选。
• Spectrum®系列电源,功率为3千瓦,自动频率调谐可选。
• SurePower®系列电源,功率为3.5、5.5、6.5、10.5和13千瓦,自动频率调谐可选。
 超高频射频功率电源(40.68-60MHz):
• GEW系列电源,功率为3.5和5千瓦,40.68MHz自动频率调谐可选。
• LVF系列电源,功率为3.5千瓦,60MHz自动频率调谐可选。


直流/脉冲功率电源

ENI®直流/脉冲电源主要应用于半导体,光电器件,磁盘,平板显示器等工业中的镀膜工艺。
• Optima®系列直流电源,其功率为5、10、20、30、40、60和80千瓦。
• RPDG系列脉冲直流电源,其功率为5、10和20千瓦,频率从50至250KHz,占空比从0至40%。


ENI射频阻抗匹配器

• MWH-100,13.56MHz,10千瓦网络射频阻抗匹配器。
• MW3513,13.56MHz,3500瓦网络射频阻抗匹配器。
• MW2513,13.56MHz,2500瓦网络射频阻抗匹配器。
• MWD-25LD,13.56MHz,2500瓦网络射频阻抗匹配器。
• MWH-5,13.56MHz,500瓦网络射频阻抗匹配器。

 

真空技术 Vacuum Technology

不锈钢真空管道和连接件
• 23系列可焊接真空管道
• 31系列ISO-KF 真空管道和法兰
• 76系列ISO-Universal真空管道和法兰
• 88系列CF真空管道和法兰


真空阀门
• 0.25吋至4吋单级波纹管隔离阀(手动/气动)。
• 4吋至10吋低流导、大流量单级波纹管隔离阀
• 0.5吋至4吋隔离球阀(手动/气动)。
• 0.25吋至4吋多级波纹管隔离阀
• 真空计隔离阀、耐腐蚀隔离阀、快速隔离阀、高频率通断隔离阀和特殊阀


加热带和加热型阀门
• 46系列温度固定加热带
• 48系列温度可调加热带
• 加热型单级和多级隔离阀


各种真空计

• HPS® 345皮拉尼真空规,945皮拉尼真空规控制器。压力测量范围:10-4 - 100 Torr
• HPS® 317对流式皮拉尼真空规,947对流式皮拉尼真空规控制器。压力测量范围:10-3 - 103 Torr
• HPS® 421、422和423冷阴极离子真空规,943冷阴极离子真空规可高温烘烤,。压力测量范围:10-11 - 10-2 Torr
• HPS® 裸热阴极离子真空规,微热阴极离子真空规及959热阴极离子真空规。压力测量范围:10-10 - 10-2 Torr
• HPS® 937B多通道控制仪,可连接多达三个冷阴极规或二个热阴极规及二个皮拉尼规,测量范围:10-11 - 103 Torr。真空规有独特的抗辐射能力,广泛应用于高能物理实验中。
• HPS® 900系列数字真空规集成了基于微处理器的控制板。具有量程广,使用方便的特点。它同时提供了数字和模拟通讯口。

• 901P 微皮拉尼/差压压电陶瓷规(1X10-5 - 1000 Torr),带气体压开关。
• 902 绝对压力压电陶瓷规(<1 - 1000Torr)
• 925 微皮拉尼规(1X10-5 Torr – 大气压)
• 910 微皮拉尼/绝对压力压电陶瓷规(1X10-5 - 1500 Torr)
• 903 反磁冷阴极电离规(3X10-10 - 5X10-3 Torr)
• 909AR 热阴极电离规(5X10-10 - 5X10-2 Torr)
• 971 UniMag™ 冷阴极电离规(1X10-8 - 5X10-3 Torr)
• 972 DuaMag™ 冷阴极电离/微皮拉尼规(1X10-8 Torr – 大气压)
• 974 QuadMag™ 冷阴极电离/微皮拉尼/压电陶瓷规(1X10-8 - 1500 Torr)
• 979 热阴极电离/微皮拉尼规(5X10-10 Torr – 大气压)
• 999 Quattro™ 热阴极电离/微皮拉尼/差压压电陶瓷规(5X10-10 - 1500 Torr)


流量测量及控制 Flow Measurement & Control
金属密封数字质量流量控制器
新一代多气体/多量程数字质量流量控制器。实时高精度流量控制是基于先进的数字算法技术,提供精度为设定值的±1%、相应速度快于500毫秒、不同气体及量程间自由切换的优异功能。EtherNet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟和数字(RS-485、DeviceNet、Modbus/TCP)通讯接口可选。
 

• P4B
多气体/多量程数字质量流量控制器,满量程范围从10 sccm – 50 slm。
• P9B
多气体/多量程/压力不敏感数字质量流量控制器,满量程范围从10 sccm – 50 slm。
• P250A
多气体/多量程数字大流量质量流量控制器,满量程范围从100 – 250 slm。
• P5A
集成压力传感器的多气体/多量程数字质量流量控制器,满量程范围从10 sccm – 50 slm。
• P2A
低压质量流量控制器,满量程范围从2 – 50 sccm。


ALTA™系列金属密封数字质量流量控制器。精度为设定值的±1%、相应速度快于1秒、不同气体及量程间自由切换。各种模拟和数字(Profibus、DeviceNet)通讯接口可选。

• ALTA™ 1480A/180A
数字质量流量控制器/质量流量监视器,满量程范围从10 sccm– 30 slm。
• ALTA™ MC20A
数字质量流量控制器,满量程范围从20 – 200 slm。


General系列数字质量流量控制器

通用数字质量流量控制器。精度为设定值的±1%、相应速度快于500毫秒、不同气体及量程间自由切换。EtherNet用户通讯口方便地用于设置和诊断。各种模拟和数字(RS-485、DeviceNet、Profibus)通讯接口可选。
• GE50A
橡胶密封数字质量流量控制器,满量程范围从10 sccm – 50 slm。
• GM50A
金属密封数字质量流量控制器,满量程范围从10 sccm – 50 slm。


MF1系列数字质量流量控制器
• 通用数字质量流量控制器。精度为设定值的±1%、800毫秒。满量程范围从10 sccm – 20 slm。各种模拟和数字(RS-485、Ether CAT、Profibus、modbus)通讯接口可选。


MASS-FLO® 系列金属密封质量流量控制器

• 1479A/179A
质量流量控制器/质量流量监视器,其满量程范围从10 sccm – 20 slm。
• M330B
低压质量流量控制器,其满量程范围从 5–100 sccm
• M330H
高温型(150℃)质量流量控制器,其满量程范围从 10sccm – 40 slm


MASS-FLO®系列橡胶密封质量流量控制器

• 1179A/2179A 质量流量控制器/带截至阀质量流量控制器,其满量程范围从10 sccm – 20 slm。
• M100B/M10MB
质量流量控制器/质量流量监视器,其满量程范围从10 sccm–50 slm,模拟通讯接口。
• 1559A/558A
大流量质量流量控制器/质量流量监视器,其满量程范围从20– 200 slm,模拟通讯接口。
• 1579A/579A
大流量数字质量流量控制器/质量流量监视器,其满量程范围从50 – 300 slm,模拟或Profibus通讯接口。


以压力为基础的流量控制器
• 1640A 基于压力质量流量控制器,适用于低压气路应用。
• 1150C/1152C
加热的基于压力质量流量控制器,适用于黏滞气流应用。


Tru-Flo® 质量流量检验器
• Tru-Flo 质量流量检测器是一个紧凑型的诊断仪器。它在已知的腔体体积和温度的条件下,测量上升的压力来确定流量。

DELTA™II流量比例控制器
• 随着DELTA 流量比例控制器的使用,优化工艺结果将变得容易。它可将混合的工艺气体按比例分为两路以提高均匀性等工艺参数。比例可从1:1至1:20。


压力测量及控制 Pressure Measurement & Control

Baratron® 薄膜电容式高精度压力传感器(温度控制在45℃)
• 690A高精度绝对压力传感器,满量程范围:0.1 – 25000Torr,精度:读数值的0.05%。
• 698A高精度差压式压力传感器,满量程范围:0.1 – 1000Torr,精度:读数值的0.05%。


Baratron® 薄膜电容式压力传感器(工作在室温)

• 622B 绝对压力传感器,满量程范围:1 – 1000Torr,精度:读数值的0.25%。
• 626B 绝对压力传感器,满量程范围:0.1 – 1000Torr,精度:读数值的0.25%。
• 623B 绝对压力传感器(带继电器触点控制),满量程范围:10 – 1000Torr,精度:读数值的0.25%。
• 722B 紧凑型绝对压力传感器,满量程范围:1 – 2500Torr,精度:读数值的0.5%。
• i-Baratron® DMB 带DeviceNet™通讯口的数字绝对压力传感器,满量程范围:0.1 – 1000Torr,精度:读数值的0.25%。



Baratron® 薄膜电容式压力传感器(温度控制在45℃)

• 627D/629D 绝对压力传感器,满量程范围:0.02 – 2000Torr,精度:读数值的0.12%。
• E27D/E29D Etch专用绝对压力传感器,满量程范围:0.02 – 100Torr,精度:读数值的0.12%。
• 624D 绝对压力传感器(带继电器触点控制),满量程范围:1 – 2000Torr,精度:读数值的0.12%。
• 727A 紧凑型绝对压力传感器,满量程范围:1 – 1000Torr,精度:读数值的0.5%。
• 627 e-Baratron® 带以太网通讯口的绝对压力传感器,满量程范围:0.1 – 1000Torr,精度:读数值的0.12%。
• E27C e-Baratron® 带以太网通讯口的 Etch专用绝对压力传感器,满量程范围:0.1 – 100Torr,精度:读数值的0.12%。
• i-Baratron® DMB 带DeviceNet™通讯口的数字绝对压力传感器,满量程范围:0.1 – 1000Torr,精度:读数值的0.12%。
• D27D/D24D 双量程绝对压力传感器/绝对压力传感器(带继电器触点控制),满量程范围:1 – 1000Torr,精度:读数值的0.12%。



 Baratron® 薄膜电容式压力传感器(温度控制在100℃)

• 628D/629D绝对压力传感器,满量程范围:0.02 – 2000Torr,精度:读数值的0.25%。
• E28D/E29D Etch专用绝对压力传感器,满量程范围:0.02 – 100Torr,精度:读数值的0.25%。
• 625D 绝对压力传感器(带继电器触点控制),满量程范围:1 – 2000Torr,精度:读数值的0.25%。
• 728A紧凑型绝对压力传感器,满量程范围:1 – 1000Torr,精度:读数值的0.5%。
• 628Ce-Baratron® 带以太网通讯口的绝对压力传感器,满量程范围:0.1 – 1000Torr,精度:读数值的0.25%。
• E28C e-Baratron® 带以太网通讯口的Etch专用绝对压力传感器,满量程范围:0.1 – 100Torr,精度:读数值的0.25%。
• i-Baratron® DMD 带DeviceNet™通讯口的数字绝对压力传感器,满量程范围:0.1 – 1000Torr,精度:读数值的0.25%。(温度控制在80℃)
• D28D/D25D 双量程绝对压力传感器/绝对压力传感器(带继电器触点控制),满量程范围:1 – 1000Torr,精度:读数值的0.25%。


Baratron® 薄膜电容式压力传感器(温度控制在100℃以上)

• 631C 高温型绝对压力传感器,满量程范围:1 – 1000Torr,精度:读数值的0.5%,温度控制在150 ℃ 或200 ℃ 。可选带继电器触点控制


Baratron® 一般用途薄膜电容式压力传感器
• 740C 绝对压力 / 750C 表读压力紧凑型压力传感器,满量程范围:10Torr – 3000psi,精度:读数值的1%。输出信号:0-5V、0-10V、4-20mA可选。


高压力Baratron® 薄膜电容式压力传感器
• 870 单端连接式/872 气流通过连接式压力传感器,满量程范围:1000Torr – 3000psi,精度:读数值的1%。输出信号:0-5V、0-10V、4-20mA可选,集成压力显示器可选。


Baratron® 差压式薄膜电容式压力传感器

• 226A 差压式压力传感器,满量程范围:0.02 – 1000Torr,精度:0.3%。
• 228A 差压式压力传感器(带继电器触点控制),满量程范围:0.02 – 1000Torr,精度:0.3%。


压力开关
• 41B 单端连接式表读压力 / 42B 气流通过连接式表读压力 / 51B单端连接式绝对压力 / 52B 气流通过连接式绝对压力压力开关,满量程范围:10Torr – 500psi,精度:0.5%。


集成Baratron® 的压力控制器

• πPC90集成Baratron® 的压力控制器,集成压力显示器,可控制上游或下游压力。满量程范围:1000 Torr – 100psia,控制精度:满量程的±0.2%,通讯接口:DeviceNet™、RS-485、模拟。
• πPC99集成Baratron® 的带流量监测的压力控制器,集成压力/流量显示器,可控制下游压力。压力满量程范围:1000 Torr – 100psia,流量满量程范围:10 – 30000sccm,控制精度:满量程的±0.2%,通讯接口:DeviceNet™、RS-485、模拟。
• 640B 绝对压力 / 641B 表读压力集成Baratron® 的压力控制器,可控制上游或下游压力。满量程范围:10 Torr – 100psia,控制精度:满量程的±0.2%。
• 649B集成Baratron® 的带流量监测的压力控制器,可控制下游压力。压力满量程范围:10 – 5000Torr,流量满量程范围:10 – 5000sccm,控制精度:满量程的±0.2%。

 

美国MKS可焊接真空管道,美国MKS法兰, 美国MKS真空阀门,美国MKS加热带和加热型阀门,美国MKS真空计,美国MKS皮拉尼真空规,冷阴极电离,微皮拉尼,美国MKS压电陶瓷规等价格优惠,欢迎来电咨询!

机:0512-65931579  65931591  65931575  转分机809808

真:0512-62388767

国际域名:www.vacsz.com

 

脚注信息

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