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    INFICON(英福康)是创新型仪器仪表、关键传感器技术和先进过程控制软件的领先供应商,致力于提升工业精密生产、真空制造过程的生产效率及质量和安全。这些分析、测量和控制产品对制冷、汽车制造、电力行业的气体试漏检测至关重要;同时也对众领域设备制造商及终端用户意义重大,如半导体及光学薄膜涂层、平板显示器、太阳能电池、工业真空镀膜等应用的精密制造。INFICON真空技术还应用于众多其他行业用户,包括生命科学、科研、航空航天、包装、热处理和激光切割等,也为紧急响应、安保和环境监测市场提供独一无二的化学毒品分析产品。INFICON总部位于瑞士,分别在美国、欧洲和中国建立了世界级的制造工厂,并在中国、芬兰、法国、德国、意大利、日本、韩国、列支敦士登、新加波、瑞典、瑞士、中国台湾、英国和美国设有分支机构。INFICON在 SIX 瑞士交易所上市,代号为IFCN。
苏州美欧机电有限公司,专业销售德国INFICON英福康产品。包括:
检漏仪
• [-] 氦检漏仪
• LDS3000 氦和氢检漏仪
• Modul1000氦检漏仪
• Pernicka700H累积式氦检漏仪
• ProtecP3000 氦检漏仪
• ProtecP3000XL氦检漏仪
• TC1000测试室
• T-Guard氦检漏仪传感器
• UL1000氦检漏仪
• UL1000Fab氦检漏仪
• UL5000氦检漏仪
• [-] 氢检漏仪
• LDS3000 氦和氢检漏仪
• SensistorISH2000氢检漏仪
• Sensistor ILS500 Leak Detection System
• Sensistor Product Accessories
• [-] 通用检漏仪
• EcotecE3000通用吸枪检漏仪
• [-] 冷媒检漏仪
• D-TEKCO2冷媒检漏仪
• D-TEKSelect冷媒检漏仪
• Compass冷媒检漏仪
• HLD5000冷媒检漏仪
• TEK-Mate冷媒检漏仪
• TEK-MatePerc检漏仪
• [-] 超声检漏仪
• Whisper超声检漏仪


LDS3000 氦和氢检漏仪
最高水平下的简洁性能

随着 LDS3000 的出现, INFICON 打开了检漏仪成功史上的新篇章. 作为 LDS2010
的继承者, 为测量结果的精确度, 重现性和检漏速度设定了新的标准. LDS3000 极其轻便.
小型的尺寸, 13 X 9.45 X 11.1 吋 (330 X 240 X 280 毫米), 使它易于整合在检漏系统中.
更重要的是, 由于省去了 19" 控制模件和改进了电缆布线, 空间需求和安装费用进一步降低.
此外, 可提供容易操作的触摸屏选项和可选的现场总线连接.
 



MODUL1000氦气检漏仪
理想用于测试从0.01至1000公升的零件容积

Modul1000是一个即插即用得氦气检漏仪,可通用集成到工业测漏系统(真空或吸枪型)中。凭借灵活的真空结构,Modul1000拥有满足各种生产规格变化的适应性。

可选配的遥控器RC1000WL允许距离为100米时超过8小时的无线作业。该单元配置一个3.5″的丰彩触摸显示屏并具备直观的操作特点。连接2个或多个检漏仪的RC1000C有线型和无线遥控器用于完成产品组合。

特征/优势概览
• 紧凑型设计可简单集成到台式或槽式系统中
• 即插即用的安装;灵活界面
• 检测范围广:从0.1至<5×10-12 毫巴•升/秒
• 支持所有尺寸的前级泵
• 软件算法I-CAL为所有测量范围提供精确的测试结果
• 宽范围的电源供应
• 集成式测漏
• 通过可选显示器、遥控器、PLC或PC进行灵活控制
• 自诊断功能
• 拥有成本低
• 参数设置的保存允许通过集成、可移动的I-STICK闪存盘进行数据传输
• 可选RC1000遥控器



 PERNICKA 700H 累积氦气检漏仪
灵敏度高,可检测密封零件中低至 10E-14 atm-cc/s 的泄漏率

累积氦气检漏仪 (CHLD),用于密封包装的单一检漏系统,兼具质谱仪专业知识与低温超高真空技术。Pernicka 700H 的密封检测方法优于传统的大泄露和微泄漏方法。此方法适用于包含氮气、氦气、氩气、氪气、氙气等气体的任何密封设备,或可能因氦气而“爆炸”的设备。

Pernicka 700H 由板载计算机控制,便于分析密封物体和同步存档检测数据。数据库提供历史记录,便于跟踪生产量。

功能概览
• 灵敏度高,可检测低至 4 x 10E-14 atm-cc/s 的泄露率
• 将微泄漏和大泄漏合并到一个操作中,使检测过程更快、更有效
• 同时检测 FC、氮气、氩气、氙气等
• 环保 – 无需毒气或危险材料
• 多显示器模式
• 集成的 LCD 监视器提供简便的操作
• 板载计算机提供实时数据读取和记录
• 简单易用的工业设计
• 适用于符合 MIL-STD-750、方法 1071、程序 CH1-CH2、MIL-STD-883H、方法 1014 的检漏方法

应用
• 可植入医疗器械
• 高可靠性电子元件
• 充气电子组件
• 超小容积设备,例如 UB 封装
• 大型混合封装  


PROTEC® P3000氦气检漏仪
您可以信赖的吸枪检漏

英福康Protec P3000氦气吸枪检漏仪特别设计用于严格生产环境中全天候的吸枪应用。

特征概览
• 改进的系统设计补偿了操作人员错误,降低了遗漏的可能性
• 多个报警功能确保报警不会被忽略
• 内置PRO-CHECK参考漏孔允许随时在生产线中进行简单、快速的校准
• 人机设计探测器中的小型显示器可显示漏率,因此操作人员可密切关注检漏过程并同时监控漏率
• I°Guide 操作人员指导模式确保操作人员正使用正确的技术测试正确的位置
• 漏率可使用气体库的制冷等量进行显示
• 探测器内置照明装置可帮助精确定位吸枪探测器
• 新型、低维护的传感器具备更高的可靠性和更低的拥有成本
• 自动维护防止污染物进入吸枪探测器,因此延长了过滤器和传感器使用寿命
• 提供多语种操作软件



[-] 真空元件
• [-] 馈入件
• 电馈入件
• 液体馈入件
• 机械馈入件
• 观察窗
• 真空球轴承
• 润滑和密封材料
• [-] 配件
• ISO-KF小型法兰元件
• ISO-K夹型法兰元件
• ISO-F固定型法兰元件
• UHVCF法兰元件
• [-] 可加热的元件
• 排气管道


电气馈入件 DN16 ISO-KF

电气馈入件 DN40 CF

同轴馈入件 ISO-KF / CF-F (BNC/MHV DN16-40)
• 基于 MIL-C-39012A
• 电压可达 5 kV DC
• 带大气接头


[-] 真空计

• [-] 冷阴极真空计
• PEG050潘宁型真空计
• PEG100潘宁型真空计
• MPG400/MPG401反磁控型皮拉尼真空计
• [-] 热电离真空计
• BAG100B-A型真空计
• BPG400B-A型皮拉尼真空计
• BPG402B-A型皮拉尼真空计
• HPG400高压强电离型皮拉尼真空计
• BCG450TripleGaugeB-A型皮拉尼电容膜片真空计
• [-] 皮拉尼真空计
• PSG050/PSG051皮拉尼标准真空计
• PSG100/PSG101皮拉尼标准真空计
• PSG500/-S,PSG502-S,PSG510-S,PSG512-S皮拉尼标准真空计
• PSG550,PSG552,PSG554皮拉尼标准真空计
• PCG550,PCG552,PCG554皮拉尼电容膜片真空计
• [-] PorterCDG020D电容膜片真空计
• PorterCDG020D电容膜片真空计
• [-] Sky电容膜片真空计–模拟型
• CDG025AllCeramic电容膜片真空计
• CDG160AllCeramic电容膜片真空计
• [-] Sky电容膜片真空计–数字型
• CDG025D电容膜片真空计
• CDG045D电容膜片真空计
• CDG100D电容膜片真空计
• CDG160D/CDG200D电容膜片真空计
• [-] 用于HVAC/R 系统抽空的真空计
• PilotPlus真空计
• [-] 真空计控制器
• VGC401/VGC402/VGC403真空计控制器
• [-] 真空开关
• VSA100A真空开关
• VSC150真空开关
• VSA200,VSD200真空开关

潘宁真空计 PEG050
INFICON 潘宁真空计 PEG050 可以提供可靠的高真空测量。 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现丝极烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。

优势
• 坚固耐用
• 不易受空气侵入和震动的影响
• 易于拆卸和清洁测量系统
• 可更换的阴极板
• 采用专利阳极设计,增强了点火特性
• 钛阴极板延长了使用寿命

操作装置
• 真空计控制器 VGC023  


潘宁真空计PEG100
INFICON 潘宁真空计 PEG100 可以提供可靠的高真空测量。坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现丝极烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件以及对数模拟输出信号允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议,将真空计轻松集成到真空系统中。

优势
• 测量范围可达 5 X 10 -9 - 1 X 10 -2 mbar (7.5 X 10 -10 - 7.5 X 10 -10 Torr)
*全金属冷阴极传感器(潘宁)带有陶瓷馈入件
• 新电极几何形状提供卓越的点火属性
• 等离子点火后高压降低以及采用钛阴极板,降低了污染风险,即使是使用氩气进行溅射操作期间
• 阳极环和钛阴极可以轻松进行清洁或更换
• 最小化真空计附近的磁场强度
• LED 指示器用于显示电源及等离子点火状态
• 对数模拟输出信号
• 现场总线接口(Profibus DB、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中

应用
• 高真空压力监控
• 蒸发镀溅系统
• 高真空范围内的一般真空测量和控制


倒磁控管 PIRANI 真空计 MPG400 / MPG401
INFICON 倒泵控管 Pirani 真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 X 10 -9 mbar 至大气压力(3.8 X 10 -9 Torr 至大气压力)。 将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中,显著降低了安装、设置和集成的复杂性。

优势
• 复合真空计 – 倒磁控管和 Pirani
• 从 5 X 10 -9 mbar 至大气气压的宽广测量范围
• 不会出现丝极烧毁的现象
• 卓越的点火属性
• 易于清洁
• FPM 或金属密封馈入件
• LED 指示器,高压时亮起
• 对数模拟输出信号

应用
• 高真空压力监控
• 蒸发镀溅系统基本压力
• 中真空和高真空范围内的一般真空测量和控制


BAYARD-ALPERT PIRANI 真空计 BPG400
INFICON Bayard-Alpert Pirani 复合真空计 BPG400 将 Bayard-Alpert 和 Pirani 两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中,测量范围为 5 X 10 -10 mbar至大气气压(3.8 x 10 -10 Torr 至大气气压)。 多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。 为负担不重且可重复的过程选择 BPG400,以经济高效的方式执行基本压力测量。

优势
*从 5 x 10 -10 mbar 至大气气压(3.8 x 10 -10 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围
• 10 -8 - 10 -2 mbar 过程压力范围内低至 5% 的 优良的可重复性
• Pirani 联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染
• 长使用寿命氧化钇铱丝
• 备有可选的图形显示器和现场总线接口
• 高真空Pirani 自动调节,减少操作员的干预

应用
• 对半导体过程和传输腔室的压力测量
• 工业镀膜
• 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制


BAYARD-ALPERT PIRANI 真空计 BPG402-S
INFICON Bayard-Alpert Pirani 复合真空计 BPG402-S 将 Bayard-Alpert 和 Pirani 两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中,测量范围为 5 X 10 -10 mbar至大气气压(3.8 x 10 -10 Torr 至大气气压)。 多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。 为负担不重且可重复的过程选择带有双氧化钇铱丝的 BPG402-S,以经济高效的方式执行基本压力测量。 传感元件带有板载校准数据,保证更换传感器时的高再现性。

优势
*从 5 x 10 -10 mbar 至大气气压(3.8 x 10 -10 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围
• 10 -8 - 10 -2 mbar 过程压力范围内低至 5% 的优良的可重复性。
• Pirani 联锁保护丝极,防止过早烧毁
• 双长使用寿命氧化钇铱丝
• 备有可选的图形显示器和现场总线接口
• 高真空Pirani 自动调节,减少操作员的干预
• 传感元件带有板载校准数据,易于更换,可保证高再现性

应用
• 对半导体过程和传输腔室的压力测量
• 工业镀膜
• 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制


真空开关 VSA100A
压力开关 VSA100A 作为安全开关广泛应用于真空系统中。 例如,对真空系统进行排气的吹扫气低于大气气压 6 mbar 时,自动干预气体供应。
优势
• 性能可靠且价格适中的真空开关
• 长使用寿命
• 坚固耐用的设计
• 易于集成
• IP 44 保护
• 可连接到可编程控制装置

应用
• 控制预抽真空室
• 安全关闭真空系统


VSC150 真空开关

INFICON VSC150 真空开关是一个绝对压力开关,带有 0.5 - 2000 mbar 的可调节电气开关触点。 其机械设计允许出现 3000 mbar 的短时高温过载现象,而不会危及 ±0.1 mbar 的开关精度。 VSC150 真空开关根据客户特定的压力设定进行过预先调节。

优势
• 高开关精度 (±0.1 mbar)
• 长期稳定的操作特性
• 坚固耐用、防腐蚀的结构设计
• 采用开关放大器,提高了开关能力
• 基准室中的开关触点(常闭)保护免受过程介质的影响
• 用于压差测量的适配器

应用
• 压力开关或压差开关,用于控制阀门、泵和电源
• 预抽真空室
• 过程腔室


SKY® CDG025D 电容式隔膜真空计
SKY CDG025D 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计,可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。 高级数字电子元件用于改进真空计的性能,具有一键归零功能和设定点调整等特性。 防腐蚀超纯陶瓷传感器提供优异的零位稳定性(包括气压突变的情况),预期使用寿命长达数百万次压力循环。 独特的传感器屏蔽(正在申请专利)用于保护真空计,使其免受加工污染。 坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。 CDG025D 电容式隔膜真空计为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。

功能概览
• 从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
• 开机后快速稳定
• 从气压中快速恢复
• 防腐蚀陶瓷传感器
• 卓越的长期信号稳定性
• 温度补偿
• 传感器受防污染保护
• 一键归零功能
• 宽范围电源
• 2 个设定点(可选)
• RS232 接口(可选)

应用
*用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备
• 数据存储和显示器制造设备
• 工业真空设备
• 经济、高度精确的压力测量


SKY 电容式隔膜真空计 ALLCERAMIC CDG160A-C / CDG160A-CS
INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C 是唯一专为高要求应用(例如氧化、扩散和 LPCVD)而设计的完全无金属 160 °C 温控电容式真空计。 所有暴露于真空的表面(例如管件、等离子屏蔽和污染防护罩)都包含防腐蚀超纯氧化铝陶瓷,使真空计不会受到潜在的金属污染。

INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C 融合了 INFICON CDG160A 系列真空计成熟的传感技术,可为 LPCVD 及其他苛刻的半导体制造应用提供可靠且可重复的性能。

优势
• 无金属超纯陶瓷设计避免金属污染
• 温度控制在 160 o C,可防止过程产品和副产品发生冷凝现象
• 紧凑型设计可节省宝贵的空间,简化工具集成
• 高环境温适应性
• 增强的粒子保护腔室另外还带有防护罩 (Suprashield),降低了真空计的污染概率
• 独特的陶瓷传感器设计具有卓越的长期稳定性,可提供可重复和准确的测量
• 可选设定点和状态指示提供附加控制和安全功能

应用
• 氧化、扩散和 LPCVD 过程
• 其他无金属真空测量要求

真空阀和气体计量系统
• [+] 角阀和直通阀
• 角阀和直通阀,DN16-250
• 角阀和直通阀,DN5
• [+] 球阀
• 球阀,DN10-40
• [+] 蝶阀
• 蝶阀,DN63至250ISO
• [+] 隔膜阀
• 隔膜阀,手动
• [+] 气体计量系统
• 气体计量系统
• [+] 气体计量阀
• 气体计量阀
• [+] ISO-KF阀
• ISO-KF小型法兰元件
• ISO-K夹型法兰元件
• [+] 安全阀
• 安全阀
• [+] 放空阀
• 放空阀


角阀和直通阀,DN16 - 160
角阀和直通阀(VAH、VIH、VAP、VIP)DN16、DN25、DN40
手动
• 波纹管馈入件
• 旋转 130 o 快速打开
• 四个步骤进行软启动

气动
• 波纹管馈入件
• 直观显示打开和关闭位置
• 电气位置指示器用于显示打开和关闭位置
• 适用于系统制造商 – 无导向阀,无位置指示器
• 极长的使用寿命

电磁角阀,带 ISO-KF 法兰 (VAM) DN16-40
• 波纹管馈入件
• 高传导性
• 紧凑型设计
• 电气可视 (LED) 位置指示
• 可选操作模式: 既可通过 PLC 或 PC 远程控制,也可执行本地操作
• 宽电压范围

角阀(VAH、VAP)DN63
手动
• 主轴传动机构,带操纵手轮
• 顺畅打开
• 可视位置指示

气动
• 直观显示打开和关闭位置
• 电气位置指示器用于显示打开和关闭位置
• 适用于无需导向阀的系统制造商

手动角阀,带 CF 法兰 (VAH) DN16-63
标准
• 适用于 UHV 和 HV 应用
• 开和关位置下,均可在高达 180 o C 温度下烘烤
• FPM 密封件
• 免维护

全金属
• 适用于 UHV 应用
• 开和关位置下,均可在高达 300 o C 温度下烘烤
• 铜密封件
• 免维护

角阀(VAH、VAP)DN100
手动
• 波纹管馈入件
• 主轴传动机构,带操纵手轮
• 顺畅打开
• 可视位置指示

气动
• 波纹管馈入件
• 直观显示打开和关闭位置
• 电气位置指示器用于显示打开和关闭位置
• 适用于无需导向阀的系统制造商

角阀 (VAP) DN160
• 直观显示打开和关闭位置
• 电气位置指示器用于显示打开和关闭位置
• 适用于无需导向阀的系统制造商

气动角阀 (VAP) DN250
• 直观显示打开和关闭位置
• 电气位置指示器用于显示打开和关闭位置
• 波纹管馈入件
• 高传导性


球阀
带 ISO-KF 法兰的球阀
• 坚固耐用且经济高效
• 通过操纵杆轻松开关
• 畅通无阻的通道


气体计量阀
手动粗气体计量阀 VDH010-A
• 允许可再现的气流进入真空室

手动计量和切断阀 VDH016-X
• 宽广的控制范围
• 最佳控制特性
• 数字显示
• 卓越的再现性
• 内置切断阀
• 关闭后不会更改流设定

全金属计量阀和系统 VDH040-U / VDE040-U / VCE500
• 最小无用容积
• 使用毛细管控制气流流经路线
• 工作温度为 200 o C
• 总压或气流控制
• 与 VDE40-U 和 VCE500 结合使用,实现自动控制

苏州美欧机电有限公司,专业销售德国INFICON英福康检漏仪:氦检漏仪,氢检漏仪,通用检漏仪,冷媒检漏仪,超声检漏仪.真空元件,冷阴极真空计,热电离真空计,皮拉尼真空计,PorterCDG020D电容膜片真空计, Sky电容膜片真空计模拟型, Sky电容膜片真空计数字型, 用于HVAC/R 系统抽空的真空计, 真空计控制器, 真空开关, 真空阀和气体计量系统,PilotPlus真空计.

机:0512-65931579  65931591  65931575  转分机809808

真:0512-62388767

国际域名:www.vacsz.com

 

脚注信息

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