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过去的四十年中,在半导体产业与汽车市场领域内的产品开发和研究使阿尔卡特高真空技术成为真空领域内成长最快的公司,并跃居为第三大真空供应商。

氦气检漏仪 ASM 310 

氦气检漏仪

ASM 310

对氦气的最小检测漏率

5.10-12 mbar l/s

检测模式

真空模式和吸枪模式

检测气体

4He , 3He, H2

相应时间

<1s

对氦气的抽气速度

1.1 l/s

进气口最大压力

15 mbar

尺寸

350 X 245 X 141 mm(14 X 10 X 16 inch)

重量

21 kg (46 lb)

 


氦气检漏仪 ASM 380

氦气检漏仪

ASM 380

对氦气的最小检测漏率

5.10-12 mbar l/s

检测模式

真空模式和吸枪模式

检测气体

He, 3He, H2

相应时间

<1s

对氦气的抽气速度

7 l/s

进气口最大压力

15 mbar

尺寸

1065 X 455 X 1025 mm(42 X 18 X 40 inch)

重量

110 kg (242 lb)

 


模块化氦检漏仪 ASI 30

模块化氦检漏仪

ASI 30

测试方式

真空模式和吸枪模式

对氦气的最小检测漏率(真空模式)

5.10-7 mbar l/s (大漏模式)

5.10-12 mbar l/s (常规模式)

对氦气的最小检测漏率(吸枪模式)

5.10-8 mbar l/s

进气口最大压力

40 mbar (大漏模式)

4 mbar (常规模式)

检测气体

4He , 3He, H2

启动时间

< 3 min

响应时间(吸枪模式)

< 0.5 s

真空接口

DN 16 ISO-KF

 


脚注信息

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